劃片機主軸哪個牌子好?推薦ABT-1000氣浮主軸
晶圓劃片在芯片制造后期,一整片晶圓上已經(jīng)制作了成千上萬個獨立的芯片。
劃片機的任務(wù)就是將這些芯片沿著切割道精確地分割成單個的芯片單元,以便后續(xù)進行封裝和測試。
劃片機主軸要求極高的切割精度(微米級)、
極小的切割道寬度(以節(jié)省晶圓面積)、極低的崩邊和裂紋,以確保芯片性能不受損傷。
因此推薦這款A(yù)BT-1000氣浮主軸,或者是ABT-1600氣浮主軸。
為什么要選擇ABT-1000氣浮主軸作為劃片機主軸?
傳統(tǒng)電主軸高速運行時會產(chǎn)生大量熱量,導(dǎo)致主軸自身熱膨脹(熱伸長)。
這會使切割刀尖的位置發(fā)生微米級的“漂移”,
導(dǎo)致切割位置不準,切偏甚至切到芯片電路,造成整片晶圓的報廢。
而ABT-1000氣浮主軸,氣動馬達驅(qū)動,近乎零發(fā)熱,
其動力來源于壓縮空氣驅(qū)動渦輪旋轉(zhuǎn),這個過程本身不產(chǎn)生焦耳熱。
因此,主軸在長時間連續(xù)運行中不會產(chǎn)生熱量,從根本上杜絕了熱伸長現(xiàn)象。
晶圓制造廠設(shè)備成本高昂,需要24小時不間斷運行以追求最大產(chǎn)能。
因此,對主軸的要求是能夠長時間、高負荷穩(wěn)定運行,并且維護周期長,壽命高。
ABT-1000氣浮主軸無接觸、無磨損設(shè)計:軸與軸承不接觸,沒有金屬摩擦,從根本上消除了機械磨損。
其壽命遠高于傳統(tǒng)的滾珠軸承主軸。無需更換軸承,大大減少了停機維護時間和成本。
且氣冷卻,得益于無發(fā)熱和無磨損的特性,ABT-1000氣浮主軸允許長時間高速運行,
可以輕松應(yīng)對24小時連續(xù)生產(chǎn)模式,為半導(dǎo)體制造商提升設(shè)備利用率。
ABT氣浮主軸轉(zhuǎn)速有10萬轉(zhuǎn)和16萬轉(zhuǎn)可選,極高的線速度確保了切割效率,尤其適用于硬脆材料的高效加工。
專為小直徑刀具優(yōu)化:半導(dǎo)體切割通常使用極薄的金剛石刀片來減少切割損耗,節(jié)省晶圓面積。
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